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::: 삼호시스콤 :::


Scroll Pump는 내부에 Oil을 전혀 사용하지 않는 Dry 방식의 Pump로서 고청정이 요구되는 각종 산업 및 연구용 목적에 적합한 Pump입니다. 기존의 Screw Dry Pump와는 달리 저렴한 가격과 편리한 공냉식 운전으로 Total Dry Pumping을 실현하였습니다.
Single Scroll Pump인 SH-100 Model과 Multi-stage Scroll Pump인
Triscroll 300, 600 model을 공급하고 있습니다.
Dry Scroll Pumps Features & Benefits
Dry Scroll Pumps Applications

SH-100 Hermetic Single Scroll Pump
소형 Chamber의 Dry Pumping에 적합한 Pump로서
특히 Hydrocarbon Free 환경이 요구되는 분석 장비와 연구 개발 용도로 사용하실 수 있습니다. 이미 검증된 Triscroll™ Seal 기술로 장시간의 Service Interval이
보장 되며 Isolation Valve가 본체에 내장되어 있어 정지
또는 정전 시에 시스템으로의 Particle 역류를 자체적
으로 차단하였습니다. 손쉬운 Tip Seal 교체로
유지보수가 간단합니다.
HS-100 Dry Scroll Pump Catalogue

SH - 100
Triscroll Dry Scroll Pump
Multi Stage Dry Pump인
Triscroll Pump는 특허된 TriscrollTM 디자인으로
높은 Pumping speed와
낮은 진공 압력 도달이 가능하며,저렴한 유지 관리 비용과
일관성 있는 성능으로 신뢰성을 인정받고 있습니다.
또한 Bearing Purge Port와 Automatic Ballast Port를
채택하여 수분과 응축 가스에
TriScroll 300 & 600
대한 Tolerance를 강화 시켜 높은 내구성과 다양한 용도로 사용을 가능하게 하였습니다.
Triscroll Dry Pump는 Dry Pumping이 요구되는 반도체 , 디스프레이 등
다양한 산업에 적합하며, Beam Line 등 초고진공이 요구되는 연구 개발 용도에
초고진공 펌프의 Back-Up 용으로도 유용합니다.
TriScroll Dry Scroll Pumps Catalogues

※ 제조사: Varian, Inc. (U.S.A.)