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::: 삼호시스콤 :::


Diffusion Pumps
Work Horse라고 불리우는 Diffusion Pump는
고효율성과 관리상의 편리성으로 널리 사용되고 있는
고진공 Pump입니다.
Varian 社의 Diffusion Pump는 기술적인 면에서
여타 Pump보다 월등히 우수하여 오랫동안
많은 산업 분야와 연구 개발 분야에서
사용되어 왔습니다.
완벽한 Jet 구조는 고순도의 오일만이 Top Jet에
도달하게 설계 되어있어 높은 Pumping Speed와
빠른 진공 도달도를 실현하였 습니다.

또한, 특징적인 Boiler 구조는 전압이나 오일종류에 차이에도 변함없는 특성을 갖게 하며,
Full Operation시에도 240 ºC의 낮은 온도이므로 오일 성분의 파괴를 최소화하였습니다.

Foreline Ejector Stage는 높은 압력에 대한 Tolerance를 갖고 있으며,
Foreline Baffle이 오일 손실을 막는 동안 효율적으로 응축된 오일을 Degas 하기위해
큰 표면을 갖도록 설계되어 있습니다.

특허받은 Full Thermal Protection 기능은 부적절한 냉각수, 오일 부족,
높은 압력 시에 Pump를 보호 해 줍니다.
Diffusion Pumps Features & Benefits

M-Series Diffusion Pumps
2”, 4”, 6” 등의 크기로 공급되고 있으며 오일의
역류 비가 타사 제품에 비해 월등히 낮기 때문에
Baffle 없이도 사용할 수 있습니다.
내장된 Cold Cap은 오일을 99%이상 걸러 줄 수 있으며 냉각 온도를 보다 낮게 유지시켜주는 구조로 설계되어 효율적인 열분산을 이루도록 해 줍니다.
모든 M- Sries Pumps는 특허받은 Full Thermal Protection 기능을 갖고 있어 부적절한 냉각수, 오일
부족, 높은 압력 시에 Pump를 보호 해 줍니다.
Fin Boiler 구조 되어 있어 열 표면이 증가되어
오일 수명을 연장시켜 줍니다.
M-Series Diffusion Pumps Catalogues

M-Series Diffusion Pump

VHS- Series Diffusion Pumps
4”, 6”, 250 mm, 10”, 400 mm 등의 크기로
공급되고 있으며 타사 제품의 같은 크기와 비교하여
월등한 Pumping Speed를 가지고 있습니다.
VHS-Series는 특허 받은 Bulge Contour (항아리 구조) 로 되어 있어 높은 Pumping Speed와 높은 진공 도달
특성을 가지고 있습니다. Full Thermal Protection
기능과 Fin Boiler구조를 가지고 있습니다
VHS-Series Diffusion Pumps Catalogues

VHS-Series Diffusion Pump

AX-65 Diffusion Pump
AX-65 Pump는 고효율의 공냉식 Pump로
분석기기용을 위하여 설계된 소형 Pump입니다.
수직핀 보일러 구조와 높은 Power로 안정된 Pumping과 높은 헬륨 Pumping Speed 특성을
가지고 있습니다.
또한, 공냉식이므로 물 공급이 불가능한 응용 분야에
적합합니다.
AX-65 Diffusion Pump Catalogue

AS-65 Diffusion Pump

HS-Series Diffusion Pumps
2”, 16”, 20”,32” 35” 등의 크기로 공급되고 있으며
높은 Pumping Speed, 높은 진공 도달, 고효율,
높은 Foreline 가능 압력을 특징으로 하며
Varian 社의 특허인 Full thermal Protection 이
내장 되어 있습니다.
HS-Series Diffusion Pumps Catalogues

HS-Series Diffusion Pump

Baffles and Traps
Varian 社의 Low Profile Water Cooled Baffle은 100% Optical Density를 갖고 있으며 얇은 두께로 높은 Conductance를 가지고 있습니다. 주로 10-8 torr 의
응용 분야에 유용하며, M-Series와 함께 사용 시
약 50% 정도만의 Pumping Speed 감소가 나타납니다.

Cryo Trap은 100 % 오일 역류를 잡아주며 또한,
Pumping Speed 상승 효과도 있습니다.
Halo Baffle은 Pump 내부에 내장되는 형태로

Cryotrap

약 90%의 오일역류를 차단할 수 있으며, 80% 정도의 Pumping Speed의 차이만을
나타냅니다. 이는 외장형 Baffle의 반 밖에 되지 않는 수치 입니다.
16” 20” 32” 35” Pump에 사용 가능 합니다.
Extended Cold Cap은 VHS-Series에 사용이 가능하며,
넓은 Cold Cap으로 오일 역류를 보다 줄일 수 있습니다.
Baffles and Traps Catalogues

※ 제조사: Varian, Inc. (U.S.A.)