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::: 삼호시스콤 :::


Ion Pumps
Ion Pump는 1950년대 Varian 社에서 발명되었으며, 현재 초고진공 시스템에 있어서 대표적인 Pump가 되었습니다. Varian VacIon Plus Series는 0.4 l/sec Miniature Pump에서 1000 l/sec Combination Pump까지 다양하게 공급되고 있습니다.
Starcell, Diode 그리고 Noble Diode 등 세가지 Element를 응용 분야에 맞게 선택할 수 있으며, Cell의 크기와 구조는 방전 강도와 Pumping Speed를 극대화하도록 설계되었습니다.
Ceramic Insulator는 내부 코팅물의 적재를 최소화 시켜서 오랜 수명을 가능하도록
하였습니다.


Vaclon Plus 75
옵션으로는 NEG Module, Integral Heater, Additional Ports,
그리고 Cryopanel & TSP 등이 있어 Ion Pump의 용도에 따라 보조적으로
선택하실 수 있습니다.
Ion Pumps Features & Benefits
Ion Pumps Applications Catalogues

Vaclon Plus 20 / 40 / 55 / 75 Catalogues
Vaclon Plus 150 / 300 / 500 Catalogues


Combination Ion
Ion과 Sublimation Pump의 조합의 Pump로서
Ion Pump가 아르곤이나 메탄 등 Non-getterable Gas를 Pumping하는 동안 Sublimation Pump가
높은 속도로 Getterable Gas를 Pumping합니다.

이 조합형 Pump는 VacIon Plus 150, 300, 500
model에만 제공되며 별도의 8” CFF Port에 Cryo Panel과 Source가 장착되게 됩니다.
이 조합형Pump는 Getterable Gas 에 효과적이며
Cryo Panel 자체의 수분 Pumping 능력 개선 효과도
있게 됩니다. 별도 Port는 하단 혹은 측면을 선택하실 수 있습니다.
Vaclon Plus Combination Pumps Catalogues

Vaclon Plus Combination Pump


Ion Pump Controller
동시에 두개의 Pump를 운전할 수 있는
Dual Controller, 다기능의 MidiVac Controller와
저렴한 MiniVac 등 세가지 Model이 있습니다.
Dual Controller는 두 줄의 LCD 창을 통하여
Pump의 전압, 전류와 진공도를 확인 할 수 있으며
진공도에 따라서 최적의 Pumping Speed를 위하여 Pump에 인가하는 전압을 자동으로 변화시켜 줍니다.
Ion Pump Controllers Catalogues

Dual Controller


Miniature and Small Ion Pump
Micro Wave Tube와 X-ray Tube
제조에 필수적인 소형 디자인의
Ion Pump로서 0.4 l/sec, 2 l/sec,와
8 l/sec 등 세가지 모델이 있으며,
사용자의 응용 분야에 따라서
각종 Dimension이나 형태로 주문 생산이 가능합니다.

Miniature and small Vaclon Pump

Miniature and Small Vaclon Pumps & Controllers Catalogues



Titanium Sublimation Pump
수소나 질소와 같은 Getterable Gas Pumping을 목적으로 하는 Pump로서 Liquid Nitrogen Cooled Cryo Panel과
조합하여 효과를 상승시킬 수 있으며
별도의 수분 Pumping 개선 효과도
볼 수 있습니다.
Filament type 과 Ball type 두 가지가

Titanium Sublimation Pump

있으며, TSP controller가 별도로 추가됩니다.
Filament-type TSP Sources는 열로 인해 발생되는 Outgassing 이 생기지 않게
승화 중에 꺼지게 할 수 있기 때문에 UHV System에서 가장 유용하게 사용되고 있습니다. 많은 양의 Titanium을 포함하고 있는 Ball-type Sources는 높은 압력과 같이
Titanium을 많이 사용하는 응용분야에서 오랜 시간 사용할 수 있는 장점이 있으나
Titanium Ball에서 발생하는 열분해(Crack)를 막기위해 승화 중에 Standby Power를
필요로 합니다.
Titanium Sublimation Pumps & Controllers Catalogues
TSP Cryopanel & TSP Controller Catalogues

※ 제조사: Varian, Inc. (U.S.A.)