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::: 삼호시스콤 :::


Vacuum Measurement
10-11 Torr에서 대기압까지 다양한 모델의 진공 계측기를 공급하고 있습니다.
Rack Mounting Type과 Active Type의 Gauge가 있습니다.
Selecting Vacuum Measurement System
Vacuum Transducer Catalogues
Cable & Controller Repair / Exchange Program Catalogues


Multi-Gauge
Modular Vacuum Gauge의 장점인 최대의 확장성을 갖고 있는 Gauge Controller로서 13개의 센서를
동시에 수행할 수 있으며, UHV BA, BA, Cold Cathode, Thermocouple, Convection 뿐만 아니라 Capacitance Manometer까지 장착이 가능 합니다.
각기 Gauge Sensor는 독립적인 Analog output
신호를 갖으며 RS232, 485/422 Computer Interface가 가능 합니다.
Multi-Gauge Controller Catalogue


Multi-Gauge Controller

senTorr Gauge
고진공과 저진공 Gauge의 조합형 Controller로서 가장 널리 쓰이는 모델입니다.
용도에 따라 세가지 Configuration이 있어 선택이 폭이 넓습니다.

- One High or Ultra-High Vacuum Gauge
  senTorr BA ( Bayard-Alpert )
senTorr UHV ( UHV Nude Gauge )
senTorr CC ( Cold Cathode )
- One High Vacuum Gauge Plus Two Thermocouple Gauge
  sentorr BA2 ( Bayard-Alpert )
senTorr CC2 ( Cold Cathode )
senTorr Gauge Controller
- One High or Ultra-High Vacuum Gauge Plus Two ConvecTorr Gauge
  senTorr BA 2c( Bayard-Alpert )
senTorr UHV2c ( UHV Nude Gauge )
senTorr CC2c ( Cold Cathode)

기본적인 주요 기능으로 갑작스런 압력 증가 시 Ion Gauge를 닫아주는 보호기능,
원하는 진공 지점에서 자동으로 고진공 Gauge를 작동 시켜 주는 Auto-On 기능,
Analog Output 기능, Remote Operation 기능과 Error Code 기능 등이 있으며
옵션으로 Setpoint, Degas 그리고 RS232, 485 Computer Interface 기능 등이 있습니다.
senTorr Gauge Controller Catalogue


860 Cold Cathod Gauge Controller
10-2 Torr에서 10-7 Torr 까지 고진공 영역에서
저가의 비용으로 사용하실 수 있는 Gauge 입니다.
- Range : 1 x 10-7 Torr to 1x 10-2 Torr
- Recorder Out put : 0-10 mV
- Gauge Cable : 10 ft.
860 Cold Cathode Gauge Controller Catalogue

860 Cole Cathode
Gauge Controller

801 Thermocouple Gauge Controller
대기상태에서 10-3 Torr 영역까지 가장 널리 쓰이고
있는 모델 입니다.
- Range : 1 x 10-3 Torr to 2 Torr
- Recoder Output : 0 to 11 mV
- Lowest Indication 1 x 10-3 Torr
- Net Weight : 0.4 kg
801 Thermocouple Gauge Controller Catalogue

801 Thermocouple
Gauge Controller

Active Gauge
Active Gauge는 자체적으로 Transducer와 Controller를 포함한 O-Board Gauge입니다. 공간이 좁거나 직접 PLC나 Digital Communication로 Gauge를 구동할 경우에
매우 유용합니다.

- CT-100 Active Gauge
100 Torr에서 1 x 10-4 Torr 까지 또는 ATM에서
2 x 10-2 Torr까지 선택 하여 사용하실 수 있습니다.
두 개의 Set Point 와 LED 상태
( Set Point와 Vacuum ) 표시등이 기본으로
장착되어 있습니다.
CT-100 Active Gauge Catalogue

CT-100 Active Gauge

- Eyesys ConvecTorr Gauge
1000 Torr에서 1 x 10-3Torr 까지 넓은 영역에서
측정 가능하며 Convection 방식으로 Pirani Type보다 측정 속도가 빠르고 Pirani Type에서 불가능한
760 Torr에서 2 Torr까지의 범위에서 신뢰할 만한
측정값을 보입니다. 한 개의 Set Point가
기본 장착이며 옵션으로 LED Digital Display를
선택하실 수 있습니다
Eyesys ConvecTorr Gauge Catalogue

Eyesys ConvecTorr Gauge

- Eyesys Mini-B/A
10-2 Torr에서 10-9 Torr 까지의 넓은 영역에서 측정
가능 하며 자동 Time- Out 되는 E-Beam Degas와
두 개의 Set Points가 기본 장착이며 옵션으로
LED Digital Display를 선택하실 수 있습니다.
Eyesys Mini-B/A Catalogue

Eyesys ConvecTorr Gauge

- Eyesys Mini-IMG
IMG (Inverted Magnetron Gauge) 방식이면서도
10-3 Torr에서 10-9 Torr 까지의 넓은 범위에서
측정 가능하며 부식 가스 환경이나 오염된 환경에서도 신뢰할 만한 측정값을 보입니다. 24 VDC로 구동하며 Remot로 On/Off가 가능하고 LED 표시등이 Gauge
상태를 보여줍니다.
Eyesys Mini-IMG Catalogue

Eyesys ConvecTorr Gauge

※ 제조사: Varian, Inc. (U.S.A.)