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PHPK Technologies 社는 cryogenic system과
vacuum product를 대형 산업체 및 첨단 연구시설에
공급하고 있습니다.
또한,가장 규모가 큰 NASA Manned Spacecraft
Center를 비롯하여 전세계 27개 대형 우주 가상 챔버와
핵융합 실험장치 중 23개의 시설에서
CVI brand의 cryopump를 사용하고 있습니다.

전세계 우주 및 핵융합 관련시설 Cryopump Array 설치현황


Cryopump는 gas 분자를 supercooled panel에
응결시켜 10-2 torr에서 10 -11 torr까지의 진공 환경을
만들어내는 펌프로서, 구동(moving) 부분과
oil 사용이 없고, 높은 throughput으로 고청정, 대용량에
적합 합니다.
 

* Open Cycle Cryopumps
Helium refrigerator를 사용하는 "Z" panel array는
초대용량이 가능한 cryopump로 0.70의 capture ratio를
갖는 아코디언 모양의 "Z" panel 양면으로 pumping을
합니다.
Open Cycle Cryopump는 우주 가상 챔버나
핵융합로에서 수소 동위원소와 헬륨을 pumping하기
위하여 액체 헬륨을 통하여 panel에 충분히 낮은 온도를
제공하는 것이 관건이며 대기압 근처에서 고진공까지
진공 환경을 만들어 줍니다.

Cryopump Catalogues

 

*Closed Cycle Crypumps
Gifford-McMahon refrigerator로 냉각되는
Closed Cycle Crypump는 반도체,디스플레이 산업등에
널리 사용되고 있는 펌프로 고청정,높은 throughput이
특징이며, 활성탄이 장착되어 냉각만으로 pumping하기
어려운 잔류 헬륨이나 수소 또한 pumping해 냅니다.
PHPK 社의 CVI Torr Master Series는 moving parts를
최소화하여 장시간의 service 주기가 가능하며
displacer의 구동과 밸브 타이밍이 명확하고,냉각용량을 극대화한 cryoarray표면 구조와 shielding이 특징입니다.따라서 cryoadsorption을 요구하는 gas들에 대한 높은 pumping speed, 빠른 cool-down time과 regeneration time, 높은 방사열 부하(high radiant heat load)에 대한 적응력 등의 장점을 갖고 있습니다.
Torr Master Series는 8-inch TM150에서 48-inchTM1200까지 다양한 용량을 공급하고 있으며 저소음 고효율의 CBST3.0/6.0 Compressor가 있으며 water cooled 와 air cooled가 모두 가능합니다.

Torr Master Cryopump Catalogues
Model TM150 (ANSI) 8-inch Cryopump
Model TM150 (UHV) 8-inch Cryopump
Model TM250 (ANSI) 10-inch Cryopump
Model TM250 (UHV) 10-inch Cryopump
Model TM450 18-inch Cryopump
Model TM500 (ANSI) 20-inch Cryopump
Model TM500 LN 2(ANSI) 20-inch Cryopump
Model TM900 36-inch Cryopump
Model TM1000 42-inch Cryopump
Model TM1200 48-inch Cryopump
Model CBST 3.0 Air-Cooled Scroll Compressor
Model CBST 3.0 Water-Cooled Scroll Compressor
Model CBST 6.0 Air-Cooled Scroll Compressor
Model CBST 6.0 Water-Cooled Scroll Compressor

*Internal Cryopump TMI200i
48-inch Cryopump의 pumping speed를
얻기 위해서는 48-inch hole을 만들어야 하며
작은 챔버에 대형 flange를 장착하기는 구조상 많은
문제를 일으킵니다.
PHPK 社에서는 단지 10-inch system flange만으로
장착이 가능한 내부 설치형 cryopump인 TMI200i를
공급합니다.
본 모델은 장착이 용이할 뿐 아니라 외부형인
TMI200보다 30% 증대한 강력한 pumping speed를
제공합니다.
Internal Cryopumps
 


PHPK Technologies 社의 기타 Products :
PHPK Introduction Catalogue

Helium Refrigerators
Vaccum Insulated Piping
Hinge and Gimbal Expantion Joins
Double Containment Piping
Cryogenic Valves
Vaccum Seal-Off Valves
Cryogenic Couplings
Filter Assemblies
Smart Dewars (Pressure Reducing System)
Vent Devices
Custom Engineered Systems