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::: 삼호시스콤 :::


Blade Throttle Valve
Conductance를 조절하는 Plate가 창문에 치는
Blind 형태로 구성되어 90° Open 되더라도
Throttle Valve 상하에 설치된 여타 제품과
간섭이 되지 않아 별도의 Adapting Flange가
필요치 않도록 제작 되었습니다.
Blade Throttle Valve Catalogue

Blade Throttle Valve

Combination Throttle Valve
Conductance를 조절하는 원판형 Plate를 좌우
반달 모양으로 구성되어 90° Open시 위쪽으로만
동작하여 하부 쪽에 설치된 제품과 간섭이 되지
않아 별도의 Adapting Flange를 아래쪽에 필요치
않도록 제작 되었습니다.
Combination Throttle Valve Catalogue

Combination Throttle Valve


Multi Control Throttle Valve
Flange의 중심을 기준으로 Plate를 Middle Size일 경우에는 좌·우로, Large Size일 경우에는 상·하로 나누어 Open, Close시 좌우 또는 상하가 동시에 작동하고 Process시에는 좌우 또는 상하 Plate 중 한쪽은 Close되고 다른 한쪽만 동작하여 Pressure를 조절합니다.

Multi Control Throttle Valve
진공 장비의 대형화 Throttle Valve 또한 대형화 되면서 Process시 사용 Gas 양이 적을 경우 Valve가 Open 되면서 Gas가 배기되어 원하는 진공도에 도달하기가 어렵고 Pressure Controller를 사용하는 경우에도 Plate의 각도 변화에 따른 압력 변화의 폭이 적으면 정확하게 제어하기가 매우 힘이 듭니다. 이러한 문제점 때문에 타사에서는 최대 12" I.D까지만 제작을 하고 있으나 당사의 Multi Control Throttle Valve는 세계 최초로 2개의 모터를 장착하여 대형화시에도 정밀 제어가 가능하며 대형 Plate가 Process시 휘는 현상을 완전 제거하여 최대 40" I.D까지 개발하였습니다.
Multi Control Throttle Valve Catalogue


CVD용 Throttle Valve
Gas를 많이 사용하는 공정에서 발생되는 고온의
Gas들이 Chamber에서 Pump쪽으로 배기되면서
차가운 Valve 내벽 및 Plate 위에 적층되고 응고
되면서 Valve가 동작하는데 장해물이 되어 많은
문제점을 발생시킵니다. 기존에는 이러한 문제점을
해결하기 위해 Valve 외벽에서 Heater를 감아서
온도를 내부로 전달하여 Valve 내벽에 부착되는
Powder는 해결되나 Valve 내부에 있는 Plate까지는
열 전달이 안되어 Valve를 교체 해야하는 문제점이
계속적으로 발생합니다. 당사에서는 이러한 문제점을 해결하기 위해 세계 최초로 Thin Plate Heater를 Valve Plate 안에 내정시켜 외부(Heater Controller)에서 Plate에 적층되고 응고되는 Gas 종류에 따라 온도를
조절할 수 있게 하여 Powder로 인한 문제점들을 근본적으로 해결할 수 있는 Valve를 개발하였습니다.
CVD용 Throttle Valve Catalogue

CVD용 Throttle Valve


Butterfly Valve
전통적인 Butterfly Valve 형태로 Throttle 기능만 작동할 수 있고 필요에 따라 Throttle 및 Full Close
(Sealed )기능이 가능하도록 개발 되었습니다.
Butterfly Valve Catalogue

Butterfly Valve


Semi-Auto Air Operation Throttle Valve
Pressure Controller없이 Air로만 작동되도록
개발되었습니다.
Valve에 설치된 Micrometer로 원하는 진공도에
맞는 위치를 설정하면 Open측에 Air 공급시
Plate는 Full Open되고 Close측에 Air 공급시
설정된 위치까지 Close 됩니다.
Valve Plate의 위치는 Micrometer를 통하여 미세
조정이 가능하며 Position Indicate로 위치를 확인할
수 있습니다. Up Stream방식에서 유용하며 특히 연구용 장비에 적합하며 경비 절감을 이루실 수 있습니다.
Semi-Auto Air Operation Throttle Valve Catalogue

Semi-Auto Air Operation Throttle Valve