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::: 삼호시스콤 :::


GT-400 Pressure Controller
Down Stream 방식으로 Pressure를 조절할 수 있는
Control Unit입니다. 즉 목표한 진공값을 Controller에
지정하면 Chamber에 부착되어 있는 Baratron Gauge에서 나오는 출력값과 목표한 진공값을 비교하여 Throttle Valve를 작동 시키면서 목표한 진공값을 빠르고 안정적을 제어할 수 있는 PID Auto Tuning 방식을 채택하였습니다 PID Auto Tunig 방식은 목표한 진공값에 이르면 목표값을 벗어나지 않도록 시정수를 자동으로 찾아주고 목표치에서 불안정한 요동 현상을 없애고 외란에 의한 제어 편차를 최소화하며 회복 시간을 짧게하도록 시정수를 자동으로 찾아 잔류 편차를 없애주므로 안정적인 제어를 할 수 있도록 개발하였습니다.
GT-400 Pressure Controller Catalogue

GT-400 Pressure Controller Catalogue

GT-300 Pressure Controller
GT-300은 1대의 Controller가 2개의 Stepping Motor를
제어하여 Open, Colse시는 Conductance를 좋게하기
위해 2개의 Motor가 동시에 동작하고, Set Point 지점
에서는 1개의 Motor는 Close되고 다른 1개의 Motor
만 동작하여 Throttle Valve의 각도 변화에 따라 변화
폭을 크게하여 Pressure Controller가 원만하게 제어할 수 있도록 개발하였습니다.
GT-300 Pressure Controller Catalogue

GT-300 Pressure Controller


CVD용 Heater Controller
Throttle Valve Plate 안에 Thin Plate Heater를 내장 하여 CVD 공정에서 생기는 Powder가 배기되면서 Plate 위에 축적되고 응고되는 현상을 제거하기 위한 온도를 조절할 수 있도록 개발하였습니다.
Heater 설치 위치가 구조적으로 얇고 협소하여 고전압의 Heater보다는 저전압 대전류 Heater를 이용하여 안전성면에서 보다 효율적입니다

CVD용 Heater Controller
Controller Size는 Half Rack Size로 하였고 그 내부에는 전원 트랜스 (저전압 생성용), 범묭온도 Controller Switching Module (대전류 제어용) 등이 설치 되었습니다. 전면부에는 범용 온도 Controller에서 Setting된 온도에 따라서 Plate의 온도가 결정되어지며 온도 제어는 범용 Controller에서 나오는 SSR 출력을 Switching Module 에서 받아 대전류를 PWM 방식으로 제어하고 Switching Module은 무접점 방식으로 선택하여 PWM 방식을 Switching하여도 반영구적 수명을 가지는데 문제가 없도록 회로기판을 선택하였습니다 Heater는 특수하게 제조되어 내구성과 안정성을 고려 하여 적층된 적층물을 제거하기 적당한 온도를 유지하는데 이상 없도록 개발하였습니다.
CVE용 Heater Controller Catalogue