HomeProduct








::: 삼호시스콤 :::


Relief Valve
Chamber내의 압력이 기준 이상을 높아질 때
안전을 위해 Relief Valve를 통해 Gas를 대기로
방출시킬 수 있도록 개발하였습니다.
Relief Valve Catalogue

Relief Valve

N2 Gas Heater
N2 Gas Heater는 주로 포화되어 있는 Cryopump
내부를 Regeneration할때 Hot N2 Gas로 Purge하기
위한 장치로 Trimmer Volume으로 Final 온도를
조절할 수 있도록 설계되었고 Heater의 수명을
증가시키기 위해 110 V용 Sheath Heater(외부 전원은
220 V)를 사용하였으며, Heater 내부에 이중으로 된
N2 Gas Heater
OHP(Over Heating Protector)를 설치하여 사용상의 부주의나 과열로 인한 장비의 훼손을
최대한 줄이도록 하였습니다 전원이 투입되더라도 유입되는 N2 Gas가 없으면 OHP가
자동을 작동하여 Heater의 동작을 멈추게 하여 안전에도 문제가 없도록 개발하였습니다.
N2 Gas Heater Catalogue